طراحي و ساخت فيلتر اپتيكي بر پايه فانو رزونانس دركريستال هاي فوتونيكي تخت ساخته شده به روش ليتوگرافي تداخلي

Design and Construction of Optical Filter Based on Fano Resonance in Slab Photonic Crystal Fabricated by Interference Lithography

در اين تحقيق كريستال هاي فوتونيكي در پليمر SU8 با استفاده از روش ليتوگرافي تداخلي با تناوب زير ميكرومتر ايجاد شده اند. سپس براي افزايش كنتراست ضريب شكست يك لايه ZnS با ضريب شكست 2/3 بر روي كريستال پليمري لايه نشاني شده است. با اندازه گيري طيف عبوري كريستال هاي فوتونيكي براي تابش خارج از صفحه اثر فاني رزونانس با شدت زياد در اين كريستال ها مشاهده مي شود كه مي تواند براي ساخت فيلترهاي اپتيكي كوك پذير در طول موجهاي مختلف و يا افزايش بازدهي آشكارسازها مورد استفاده قرار گيرند

In this study, photonic crystals were fabricated in SU8 polymer with submicron period by Interference Lithography. Then to enhance the refractive index contrast, a thin layer of ZnS with refractive index of 2.3 was coated on the polymeric photonic crystal. By measuring out of plane transmission spectrum of the photonic crystals, strong fano reonance effect is observed, which can be used for fabrication of tunable optical filters in various rang of wavelengths or for the enhancement of the photodetectors efficiency.