بررسي تاثير پارامترهاي پلاسما بر خواص فيلم هاي كربني شبه الماسي

Investigation of the effects of plasma parameters on the properties of Diamond Like Carbon films

در اين تحقيق تأثيرات توان هاي مختلف امواج راديويي (RF) و ميكرو ويو (MW)، نسبت گاز و زير لايه ها با جنس مختلف را در لايه نشاني به روش بخار شيميايي پلاسمايي (PECVD) فيلمهاي كربني شبه الماسي بر روي ضريب شكست، ضخامت، زبري و ساختار فيلم مورد بررسي قرار مي دهد. با تركيب گاز هاي 4CH و H2 و با استفاده از پلاسماي RF - و همچنين در تكنيك فركانس دوگانه با استفاده از پلاسماي ميكروويو (MW) و (RF) به طور همزمان- لايه هاي كربني شبه الماسي به صورت فيلم نازك لايه نشاني مي شود. همچنين براي مشخص شدن ساختار فيلم از اسپكتروسكپي رامان، براي اندازه گيري ضريب شكست از طيف جذب و عبور و براي اندازه گيري زبري سطح از ميكروسكوپ روبشي اتمي استفاده مي گردد.

Effects of radiofrequency (RF) and microwave (MW) power, gas ratio and substrate substance are investigated on the diamond like carbon index of refraction, thickness, roughness, film structure and plasma elements. RF plasma and also in dual frequency with MW discharge with composition of CH4, H2 are used for deposition of diamond-like carbon films. Also, the properties of the films are investigated by Raman spectroscopy, optical transmission spectroscopy and atomic force microscope.