بررسي تاثير دماي پرتو يوني بر روي شكل توزيع يوني نشانده شده در فرايند يون نشاني

در توليد تركيبات نانو با استفاده از فرايند يون نشاني ، كنترل شكل توزيع يونهاي نشانده شده در سطح جامد به دليل حساس بودن خواص سطحي اينگونه مواد به ناخالصي ايجاد شده در خلال فرايند ياد شده ، از اهميت فوق العادهاي برخوردار است . در اين مقاله با معرفي دماي پرتو يوني به عنوان يك مشخصه مهم براي كنترل اندازه توزيع نشانده شده ، پرتوهاي يوني سرد به عنوان يك روش جايگزين مناسب براي روشهاي متداول مانند پرتوهاي يوني متمركز شده FIB پيشنهاد شده است . براي شبيه سازي تابش پرتوهاي يوني با دماهاي مختلف از نرم افزار SIMION استفاده شده است شده و در مرحله بعد پس از آنكه پرتوهاي با دماهاي مختلف شبيه سازي شد ، اين پرتوها با سطح يك جامد اندركنش ميكنند . نرم افزار Srim براي تجزيه و تحليل چگونگي توزيع يونها در داخل سطح جامد بكار گرفته ميشود .