ساخت نانوميله هاي WO3 به روش تركيبي اسپاترينگ - اكسيداسيون لايه تنگستن

Fabrication of WO3 nanorods using combined sputtering-oxidation of W film

در اين تحقيق ، نانوميله هاي اكسيد تنگستن با حرارت دادن لايه نازك تنگستن كه با روش اسپاترينگ بر روي زيرلايه سودا لايم لايه نـشاني شده، در شرايط كنترل شده ( دماي 700 C ، محيط گازي N2 به مدت 80 دقيقه ) رشد داده مي شوند . نانو ميله هاي تهيه شده . با استفاده از دستگاه طيف سنج نوري مرئي _ ماورا ء به ترتيب خواص اپتيكي ( ميزان عبور و بازتاب ) ريخت XRD ) X) و همچنين پراش اشعه SEM ، تكنيك ميكروسكوپي الكتروني روبشي (UV-Vis)بنفش شناسي،شكل،اندازه ، ابعاد و توزيع آنها ودر نهايت تعيين فازها و ساختار كريستالي نانو ميل ه ها بررسي گرديد . بر اساس تحليل نتايج بدست آمده نانو ميله هاي سنتز شده توسط اين روش داراي طول و پهناي به ترتيب بين 3-1 µm و 300 -27 nm مي باشند . و جهت كريستالي آنها در راستاي (001) تعيين شد .

In this research, initially tungsten thin films formed by sputtering method on sodalime substrate. The deposited films heated in acontrolled conditions(temperature700oC for 80min under N2 environment) producing WO3 nanorod. Optical property of the nanorods was studied by UV-Vis spectrophotometer and morphology of samples investigated using SEM. Phase formation and crystallographic orientation along(001)direction of the grown nanorods were detetrmined employing XRD .according to our data analysis diameter and length of synthesized nanorods were measured between 27-300nm and 1-3μm respectively.