هيه لايه هاي هاي نازك تيتانيوم بهروش كندوپاش پلاسمايي و بررسي آهنگ نهشت به فاصله كاتد از زيرلايه و فشار

در اين كار تجربي فلز Ti بهصورت فيلم نازك با استفا ده از كندوپاش مگنتروني به روي بستر شيشه اي نشانده شده و تغيير آهنگ نهشت فيلم با فاصله كاتـد و زيرلايـه و همين طور فشار در سه حالت مختلف با منابع تغذيه RF و DC بطور جداگانه و با هم بررسي شده است . مقايسه نتايج تجربي حاصله نشان ميدهند كـه آهنـگ نهـشت متناسب با در حالات مختلف ذكر شده در بالاست . در فشارهاي بالاتر آهنگ نهشت به خاطر پراكندگي اتمهاي كندوپاشي با مولكولهاي گاز باقيمانده، كـاهش مـي يابد