تهيه و مشخصه نگاري نانوذرات اكسيد روي ZnO به روش كندوپاش

Synthesis and Characterization of ZnO Nano Particles using Magnetron sputtering

لايه هاي نازك نانوبلورهاي اكسيد روي از پخت لايه هاي نازك روي كه به روش كندوپاش لايه نشاني شده اند، تهيه شده است . زيرلايه بكار رفته در اين تحقيق از جنس شيشه بوده و دايرهاي شكل هستند . اين نمونه ها سپس با استفاده از پراش سنج اشعه ايكس، روش بينابنمايي فرابنفش - مرئي و استفاده از ميكروسكوپ الكتروني مورد مطالعه و بررسي قرار گرفته است . در اين مطالعه نانوذرات اكسيد روي با اندازه هاي متوسط 33 نانومتر تشكيل شدند . گاف انرژي براي اين ذرات در حدود 3/9 الكترون - ولت بدست آمد .

The thin layers of Zn with different thickness ,ranging from 200 Å to 1800 Å, using magnetron sputtering facility were prepared .Annealing process for one hour at 600 ºC was done . The ZnO nano crystallines are formed. To characterize these nano crystallines ,UV-Visible spectrometer, XRD, and SEM were used. The average grain size 33 nm for 002 peak was obtained. The band gaps for these nano materials up to 3.9 eV are increased