تداخل‌سنج تركيبي براي مشخصه‌يابي ميكروعدسي‌ها

Hybrid interferometer for characterizing micro-lenses

در اين مقاله با تركيب دو تداخل #8204;سنج معروف، چيدماني ارائه مي #8204;شود كه امكان تعيين ابيراهي #8204;هاي ميكروعدسي #8204;ها و همچنين پارامترهاي آنها مانند ضخامت، فاصله كانوني و شعاع انحناي سطوح را، بدون جابجا كردن عدسي، فراهم مي #8204;كند. اين چيدمان، تركيبي از تداخل #8204;سنج #8204;هاي #38;nbsp; تويمن-گرين و ماخ-زنر است كه مجهز به يك حسگر جبهه موج شاك-هارتمن مي #8204;باشد. نحوه عملكرد چيدمان و نمونه #8204;هايي از نتايج اندازه #8204;گيري ارائه مي #8204;شوند.

In this paper, we present a hybrid interferometer which allows the measurement of the aberrations of micro-lenses as well as the specification of the focal length, thickness, and radius of curvature. The Twyman-Green and Mach-Zehnder interferometers are experimentally combined for full characterization of micro-lenses. This hybrid interferometer is equipped with a Shack-Hartmann wavefront sensor for testing the quality of micro-lenses in transmission. We describe the technique and report some experimental results.