ساخت حسگر گاز بر پايه ي گرافن اكسايد و سيليكون متخلخل

در اين مقاله از اتصال شاتكي گرافن سيليكن براي ساخت حسگر گاز آمونياك استفاده شده است. جهت افزايش حساسيت از يك لايه اكسيد سيليكن در نظر گرفته شده و نرخ زدايش اكسيد توسط آزمايشهاي چشمي و اليپسومتري گزارش گرديده است و همچنين از روش متخلخل سازي سيليكون استفاده شده است. اين حسگر داراي حساسيت نسبتا خوبي در دماي محيط است. مشخصه جريان-ولتاژ اين حسگر يك كاهش جريان را در جريان اشباع معكوس از 13.42 µA/cm2 بدون گاز به مقدار 9.31µA/cm2در حضور ppm 200 از گاز آمونياك را نشان ميدهد. علاوه بر اين مشاهده شد كه اين حسگر داراي پاسخ زماني 25 ثانيه و برگشتپذيري بسيار خوبي است. همچنين نشان داده شده است كه با افزايش دما حساسيت اين حسگر افزايش مي يابد.