مطالعه خواص اپتيكي لايه هاي نازك سولفيد تنگستن پخت شده در اتمسفر هاي مختلف شامل آرگون، آرگون/هيدروژن و آمونياك/آب و اكسيژن

Study on optical properties of WS2 thin films annealed in various atmospheres including Ar, Ar/H2, NH3/H2O and O2

در اين پژوهش ، نانوساختار هاي دي سولفيد تنگستن به روش رسوب بخار شيميايي گرمايي در كوره سه ناحيه اي بر روي زير لايه هاي SiO2/Si سنتز شدند. بدين منظور پودرهاي گوگرد و اكسيد تنگستن به ترتيب در ناحيه هاي اول و سوم در دما هاي۲۲۰ ͦC و ۱۱۰۰°c تحت جريان گاز آرگون قرار گرفتند. سپس نمونه ها جهت بازپخت ، در بوته اي در مركز كوره تك ناحيه اي قرار داده شدند. لايه هاي رشد يافته تحت گاز هاي مختلف آمونياك ، هيدروژن ، اكسيژن و آرگون در دماي ۴۵۰° به مدت ۳۰ دقيقه مجدد پخت شدند. جهت بررسي اثر بازپخت، آناليز هاي پراش اشعه ايكس ، طيف سنجي رامان و طيف سنجي فرابنفش-مرئي انجام شد. نتايج حاكي از تاثير اتمسفر هيدروژن بر روي بهبود خواص اپتيكي لايه هاي سنتز شده است.

In this study, tungsten disulfide nanostructures were synthesized on Si/Sio2 substrates by thermal chemical vapor deposition in a three-zone furnace. For this purpose, sulfur and tungsten oxide powders were exposed to argon gas in the first and third regions at 220 ° C and 1100 ° C, respectively. The samples were then placed in a plant in the center of a single-zone furnace for annealing. The grown layers were reheated under various gases of ammonia, hydrogen, oxygen and argon at 450 ° C for 30 minutes. To evaluate the annealing effect, X-ray diffraction, Raman spectroscopy and Ultraviolet-Visible spectroscopy were performed. The results indicate the effect of hydrogen atmosphere on improving the optical properties of the synthesized layers.