شماره ركورد كنفرانس
5385
عنوان مقاله
شبيهسازي تخليۀ سد ديالكتريك در فشار خلاء با استفاده از نرمافزار كامسول
عنوان به زبان ديگر
Dielectric barrier discharge simulation in vacuum pressure using COMSOL software
پديدآورندگان
كرمي مهدي karami.mahdi3636@gmail.com گروه فيزيك، دانشكده علوم پايه، دانشگاه گيلان، رشت، ايران , دژپور علي گروه فيزيك، دانشكده علوم پايه، دانشگاه گيلان، رشت، ايران , جعفري ساعد گروه فيزيك، دانشكده علوم پايه، دانشگاه گيلان، رشت، ايران
تعداد صفحه
4
كليدواژه
پلاسماي فشار خلا , شبيهسازي تخليه سد ديالكتريك , لايهنشاني
سال انتشار
1402
عنوان كنفرانس
دهمين همايش ملي مهندسي و فيزيك پلاسماي ايران
زبان مدرك
فارسي
چكيده فارسي
در سالهاي اخير، لايه نشاني و اصلاح سطح پلاسمايي توسط دستگاه تخليه سد دي الكتريك در فشار خلاء، توجه زيادي را به خود جلب كرده اند. در اين مطالعه با استفاده از نرمافزار كامسول نسخه 6 مدلسازي دستگاه تخليۀ سد ديالكتريك پلاسماي گاز آرگون در فشار خلاء انجام گرفت. شبيهسازي در فشار پايين 1 ميليبار و فركانس ثابت 50 كيلوهرتز در ولتاژهاي 1، 5 و 10 كيلوولت صورت گرفته است. با تغيير ولتاژ هاي ذكر شده ، پارامتر هاي پتانسيل الكتريكي ، چگالي الكترون مورد تحليل قرار گرفتند. از آنجايي كه توان نهشت كل، پارامتر بسيار مهمي در اصلاح سطح پلاسمايي فيلم هاي نازك محسوب ميشود ، بدين منظور علاوه بر بررسي نمودار هاي دو بعدي پتانسيل الكتريكي و چگالي الكترون ، نمودار تغييرات توان نهشت بر حسب زمان نيز در اين مطالعه مورد بررسي قرار گرفت. نتايج نشان مي دهد كه با افزايش ولتاژ اعمالي، پلاسماي يكنواخت و چگالتري در فضاي بين دو الكترود، ايجاد مي شود و نرخ توان نهشت يافته پلاسما، افزايش مي يابد.
كشور
ايران
لينک به اين مدرک