شماره ركورد كنفرانس
2308
عنوان مقاله
پليمريزاسيون پلاسمايي با فركانس راديويي لايه نازك هاي سيليكون اكسي نيترايد در دماي پايين با استفاده از تركيب TEOS/O2/N2
پديدآورندگان
شه پناه مرجان نويسنده , فيروزجاه مرضيه نويسنده , مهدي كيا حامد نويسنده , شكري بابك نويسنده
تعداد صفحه
4
كليدواژه
پليمريزاسيون , فركانس راديويي , لايه نازك هاي سيليكون اكسي نيترايد , دماي پايين , تركيب TEOS/O2/N2 , پلاسما
سال انتشار
1395
عنوان كنفرانس
كنفرانس فيزيك ايران
زبان مدرك
فارسی
شماره مدرك كنفرانس
4304410
سال انتشار
1395
از صفحه
1
تا صفحه
4
سال انتشار
1395
لينک به اين مدرک