شماره ركورد كنفرانس
815
عنوان مقاله
اندازه گيري نمايه هندسي سطح و تعيين نوفه فاز بازسازي شده با استفاده از تداخل سنجي ميراو
پديدآورندگان
مصطفوي امجد جعفر نويسنده , خالصي فرد حميدرضا نويسنده
تعداد صفحه
4
كليدواژه
انتقال فازي , تداخل سنج ميكروسكوپي , نوفه يابي فازي , بازسازي فاز
عنوان كنفرانس
شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
زبان مدرك
فارسی
چكيده فارسي
در اين مقاله يك نمونه از نمايه سنجهاي نوري غير تماسي توصيف شده است. اين نمايه سنج نوري برپايه تداخل سنجي ميكروسكوپي بازتابي، با بكارگيري تداخل سنج ميراو ساخته و براي اندازه گيري نمايه هندسي سطوح در ابعاد چند صد نانومتري بكار برده شد. ارتفاع ديواره نانومتري با دقت (5%) 20nm اندازه گيري و شكل سه بعدي ان با روش انتقال فازي سه پله اي بازسازي شد. روش واريانس دو بعدي براي نوفه يابي فاز بازسازي شده ابداء و روشي بهينه نسبت به روش گراديان فاز، شناخته شد.
كلمات كليدي:
شماره مدرك كنفرانس
1845181
سال انتشار
1388
از صفحه
1
تا صفحه
4
سال انتشار
0
لينک به اين مدرک