شماره ركورد كنفرانس
1469
عنوان مقاله
تحليل عوامل موثر بر عملكرد ديافراگم در سنسورهاي فشار خازني با استفاده از تكنولوژي MEMS
پديدآورندگان
احمدنژاد نويسنده , عزيزا... گنجي بهرام نويسنده , بالاوندي مهرشاد نويسنده , خسروي نويسنده
تعداد صفحه
5
كليدواژه
ديافراگم , سنسور , تكنولوژي MEMS , استرس , فشار خازني
عنوان كنفرانس
نخستين همايش ملي برق دانشگاه فني و حرفه اي
زبان مدرك
فارسی
شماره مدرك كنفرانس
2564519
سال انتشار
1392
از صفحه
43
تا صفحه
47
سال انتشار
0
لينک به اين مدرک