• شماره ركورد كنفرانس
    1469
  • عنوان مقاله

    تحليل عوامل موثر بر عملكرد ديافراگم در سنسورهاي فشار خازني با استفاده از تكنولوژي MEMS

  • پديدآورندگان

    احمدنژاد نويسنده , عزيزا... گنجي بهرام نويسنده , بالاوندي مهرشاد نويسنده , خسروي نويسنده

  • تعداد صفحه
    5
  • كليدواژه
    ديافراگم , سنسور , تكنولوژي MEMS , استرس , فشار خازني
  • عنوان كنفرانس
    نخستين همايش ملي برق دانشگاه فني و حرفه اي
  • زبان مدرك
    فارسی
  • شماره مدرك كنفرانس
    2564519
  • سال انتشار
    1392
  • از صفحه
    43
  • تا صفحه
    47
  • سال انتشار
    0