• شماره ركورد كنفرانس
    815
  • عنوان مقاله

    طراحي و ساخت آينه با بازتاب بالا در طول موج 193NM براي ليزر اگزايمر

  • پديدآورندگان

    شفيعي زاده زهرا نويسنده , حجتي راد هاشم نويسنده , ملكي محمدهادي نويسنده - پژوهشگاه علوم و فنون هسته¬اي، پژوهشكده ليزر و اپتيك , باطبي سعيد نويسنده

  • تعداد صفحه
    4
  • كليدواژه
    آينه با بازتاب بالا , نشاني هاي فيلم نازك , ليزر اگزايمر
  • عنوان كنفرانس
    شانزدهمين كفنراسن اپتيك و فوتونيك ايران و دومين كنفرانس مهندسي فوتونيك ايران
  • زبان مدرك
    فارسی
  • شماره مدرك كنفرانس
    1845181
  • سال انتشار
    1388
  • از صفحه
    1
  • تا صفحه
    4
  • سال انتشار
    0