مطالعه‌ تأثير ضخامت و آهنگ لايه‌نشاني بر ويژگي‌هاي ساختاري لايه‌هاي نازك آلومينيوم بر روي بستر ITO/PEDOT:PSS/Alq3 تهيه شده به‌روش تبخير گرمايي در خلاء

هدف از اين پژوهش بررسي تأثير تغيير ضخامت و آهنگ‌هاي لايه‌نشاني متفاوت لايه‌هاي نازك آلومينيوم بر روي بستر ITO/PEDOT:PSS/Alq3 بر ويژگي‌هاي ساختاري لايه‌ آلومينيوم است. بدين منظور لايه‌هاي نازك PEDOT:PSS،  و Al به‌ترتيب بر روي زير لايه ITO لايه نشاني شدند. براي بررسي اثر تغيير ضخامت، لايه‌هاي نازك آلومينيوم با ضخامت‌هاي 60 و 80 و 100 نانومتر و براي بررسي اثر تغيير آهنگ لايه‌نشاني، لايه‌هاي نازك آلومينيوم با آهنگ هاي 0.1 و 0.5 و 1 و nm/s 2 بر روي لايه‌ 3Alq به‌روش تبخير گرمايي لايه‌نشاني شدند. لايه‌ PEDOT:PSS با روش لايه‌نشاني چرخشي با دستگاهspin coating ساخت شركت Backer لايه نشاني شد. لايه‌هاي 3Alq و Al به‌ترتيب با روش لايه نشاني تبخير گرمايي در خلاء با دستگاه تبخير گرمايي در خلاء ساخت جهاد دانشگاهي دانشگاه شريف لايه نشاني شدند. ساختار لايه‌ها توسط پراش پرتو ايكس (XRD) و ريختار آنها توسط ميكروسكوپ الكتروني روبشي اثر ميدان (FESEM) و ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) مطالعه شدند. مشخصه‌يابي پراش پرتو ايكس نشان داد كه لايه‌هاي تهيه شده با ضخامت كمتر از nm 100 و با آهنگ لايه‌نشاني كمتر از nm/s 1 داراي ساختار بس‌بلوري با قله‌هايي در راستاي صفحه (111) مي‌باشند. تصاوير FESEM ساختار دانه‌اي نمونه‌ها را نشان مي‌دهد. افزايش آهنگ لايه‌نشاني منجر به افزايش خوشه‌ها در سطح لايه مي‌شود كه افزايش اندازه دانه‌ها را به‌همراه دارد. تصاوير AFM نشان مي‌دهند كه افزايش ضخامت لايه و آهنگ لايه نشاني باعث افزايش زبري سطح لايه مي‌شود.