طراحي و ساخت سامانه ليتوگرافي ليزري با استفاده از هد دستگاه Blu-ray

Design and Fabrication of aLaser Lithography System Using Blu-Ray Optical Head

در اين مقاله، نمونه آزمايشگاهي يك سامانه ليتوگرافي ليزري با استفاده از هد اپتيكي دستگاه ديسك خوان Blu-Ray(BD)ساخته و تست شده است. هد اپتيكي اين دستگاه داراي ليزر آبي، ليزر قرمز، عدسي شييي و قطعات اپتيك مناسب براي خواندن و نوشتن اطلاعات بر روي ديسك نوري است. از ليزر آبي آن با طول موج 405 نانومتر بصورت يكپارچه براي كانوني سازي ليزر بر روي سطح زيرلايه و همچنينليتوگرافي و ايجاد الگو بر روي زيرلايه پوشش داده شده با فوتورزيست شيپلياستفاده شده است. براي انجام فرايند ليتوگرافي،زيرلايه بر روي ميز دو درجه آزادي X-Y قرار مي‌گيرد و متناسب با الگوي طرح و فرامين ارسالي از كامپيوتر، سطح آنبوسيله ليزر روشن/خاموش جاروب مي‌شود. براي رسيدن به كمينه لكه ليزر و ثابت نگه داشتن زيرلايه در محدوده فاصله كانوني محور Z،سامانه خودكانون با استفاده از هد اپتيكي و طراحي مدارات واسط ساخته شده است تا پهناي خطوط ليتوگرافي در كل سطح زيرلايه تغيير نكند.دقت پهناي خطوط ليتوگرافي انجام شدهµm 3 با غيريكنواختي كمتر از20% استو با توجه به طول موج ليزر آبيو عدسي شييي با روزنه عددي 85/0 موجود در هد اپتيكي،دقت سامانه ليتوگرافي مذكور تا دقت nm 500 قابل ارتقا است.