Effect of Length-scale Parameter on Pull-in Voltage and Natural Frequency of a Micro-plate

اين مقاله به بررسي اثرات پارامتر مقياس طول ماده روي پايداري و فركانس طبيعي ميكروصفحه‌ي مستطيلي در دو حالت كاملا گيردار و كاملا با تكيه‌گاه ساده مي‌پردازد. براي به‌دست آوردن معادله‌ي غيرخطي حاكم بر ميكروصفحه با در نظرگيري اثرات كشيدگي بر پايه‌ي تيوري تنش كوپل پيراسته از اصل هميلتون استفاده مي‌شود. معادله‌ي غيرخطي حاكم، در حالت استاتيكي با استفاده از روش خطي‌سازي گام به گام و در حالت ديناميكي با انتگرال‌گيري از روش رانگ-كوتاي مرتبه‌ي چهار حل مي‌گردد. پارامترهاي pull-in استاتيكي و ديناميكي كه محدودكننده‌ي حوزه‌هاي پايداري دستگاه‌هاي MEMS خازني است محاسبه شده و با مقادير به‌دست‌ آمده از تيوري كلاسيك مقايسه مي‌گردد. نتايج عددي نشان مي‌دهد كه وابستگي مواد به اندازه‌ي ذاتي در ضخامت‌هاي كمتر چشمگيرتر بوده و در اين حالت اثرات كشيدگي قابل چشم‌پوشي است.

This paper deals with the effect of the intrinsic material length-scale parameter on the stability and natural frequency of a rectangular micro-plate for two different cases; fully clamped and fully simply supported. A variation formulation based on Hamilton’s principle and the modified couple stress theory is used to obtain the nonlinear governing equation of a micro-plate incorporating the stretching effect. In the static case, the nonlinear governing equation is solved using the step-by-step linearization method (SSLM) and in the dynamic case, is integrated using fourth-ordered Runge-Kutta method. The static and dynamic pull-in parameters, limiting the stability regions of capacitive MEMS devices, are calculated and compared to those obtained by the classical theory. The numerical results reveal that the intrinsic size dependence of materials is more significant for smaller thicknesses and in this case, the stretching effect can be neglected.