Title of article :
Accurate control of surface chartacteristics of glass-like carbon by controlled plasma of SF6-Ar mixed gas
Author/Authors :
Yori Isumi، نويسنده , , Hidetoshi Ishihara، نويسنده , , Takeo Ohte، نويسنده , , Akira Kojima، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 1997
Pages :
1
From page :
1680
To page :
1680
Journal title :
Carbon
Serial Year :
1997
Journal title :
Carbon
Record number :
1117458
Link To Document :
https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=10&DC=1117458
