Title of article
Chemical vapor deposition of carbon films: in-situ plasma diagnostics
Author/Authors
A.N. Obraztsov and ، نويسنده , , A.A. Zolotukhin، نويسنده , , A.O. Ustinov، نويسنده , , A.P Volkov، نويسنده , , Yu.P. Svirko، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2003
Pages
4
From page
836
To page
839
Journal title
Carbon
Serial Year
2003
Journal title
Carbon
Record number
1119083
Link To Document