Influence of argon flow rate on the surface morphology and roughness of the DLC films prepared by MW ECR\PACVD

Abdelkader Khettache، نويسنده , , Mohamed Zine Touhami، نويسنده , , Buchkremer Hermanns Heinrich، نويسنده , , Lamine Mahdjoubi ، نويسنده , , Bouguerra Bouzabata، نويسنده , , Wei? Horst، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2003

3

856

858

A. Diamond-like carbon , B. chemical vapour deposition , D. Surface properties

Carbon

2003

Carbon

1119090