Preparation of carbonaceous thin films by plasma-assisted chemical vapor deposition using active fluorine atoms

Tomokazu Fukutsuka، نويسنده , , Yoshiaki Matsuo، نويسنده , , Yosohiro Sugie، نويسنده , , Takeshi Abe، نويسنده , , Zempachi Ogumi، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2008

1

562

562

Carbon

2008

Carbon

1125567