مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - IR laser-induced decomposition of tetravinylsilane for chemical vapour deposition of Si/C/H materials

Title of article :

IR laser-induced decomposition of tetravinylsilane for chemical vapour deposition of Si/C/H materials

Author/Authors :

Vladislav D ?nek، نويسنده , , Zden k Bastl، نويسنده , , Jan ubrt، نويسنده , , Roger Taylor، نويسنده , , Josef Pola، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 1995

Pages :

From page :

199

To page :

206

Keywords :

chemical vapour deposition , Infrared multiphoton decomposition , Tetravinylsilane , Si/C/H films , Pyrolysis

Journal title :

Journal of Analytical and Applied Pyrolysis

Serial Year :

1995

Journal title :

Journal of Analytical and Applied Pyrolysis

Record number :

188191

Link To Document :