Thermal decomposition mechanisms of tetraethylgermane in metal-organic chemical vapor deposition

J. El Boucham، نويسنده , , F. Maury، نويسنده , , R. Morancho، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 1997

13

153

165

Germanium thin films , Pyrolysis of tetraethylgermane. , Gas phase analyses , On-line gas chromatographic analyses

Journal of Analytical and Applied Pyrolysis

1997

Journal of Analytical and Applied Pyrolysis

188329