Author/Authors :
Jaroslav Kup ?k، نويسنده , , Zden k Bastl، نويسنده , , Jan ubrt، نويسنده , , Josef Pola، نويسنده , , Vassilis C. Papadimitriou، نويسنده , , Alexandros V. Prosmitis، نويسنده , , Panos Papagiannakopoulos، نويسنده ,
Keywords :
Chemical vapour deposition , Hexamethyldisiloxane , Hydrido(methyl)silicone , Pyrolysis , Laser induced decomposition