Title of article :
Fabrication of multi-pixel TES microcalorimeters with an electrodeposited Sn absorber and Bi absorber
Author/Authors :
Arakawa، نويسنده , , T. and Kudo، نويسنده , , H. and Sato، نويسنده , , H. and Kobayashi، نويسنده , , H. and Izumi، نويسنده , , T. and Ohtsuka، نويسنده , , S. and Mori، نويسنده , , K. and Shoji، نويسنده , , S. and Osaka، نويسنده , , T. and Homma، نويسنده , , T. and Mitsuda، نويسنده , , K. and Yamasaki، نويسنده , , N. and Fujimoto، نويسنده , , R. and Iyomoto، نويسنده , , N. and Oshima، نويسنده , , T. and Futamoto، نويسنده , , K. and Takei، نويسنده , , Y. and Ichitsubo، نويسنده , , T. and Fujimori، نويسنده , , T. and Yoshida، نويسنده , , K. and Ishisaki، نويسنده , , Y. and Morita، نويسنده , , U. and Koga، نويسنده , , T. and Shinozaki، نويسنده , , K. and Sato، نويسنده , , K. and Takai، نويسنده , , N. and Ohashi، نويسنده , , T. and Kuroda، نويسنده , , Y. and Onishi، نويسنده , , M. and Goto، نويسنده , , M. and Beppu، نويسنده , , F.، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2004
Pages :
4
From page :
456
To page :
459
Abstract :
We have developed multi-pixel TES microcalorimeters in order to realize high-energy resolution and X-ray imaging. A Sn absorber and a Bi absorber were formed on Si3N4 and SiO2 membrane using two-step exposure photolithography and electrodeposition. A FEM analysis was carried out to investigate the performance of the X-ray microabsorbers. In addition, a superconducting through-wafer interconnection was demonstrated considering the future X-ray imager using microcalorimeters. Detail of the fabrication techniques, characteristics and simulation results of two types of the microabsorbers, as well as those of the calorimeters are described.
Keywords :
Bi absorber , Sn absorber , Calorimeter , FEM analysis
Journal title :
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A
Serial Year :
2004
Journal title :
Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A
Record number :
2201966
Link To Document :
بازگشت