Title of article :
A Review on Titanium Nitride and Titanium Carbide Single and Multilayer Coatings Deposited by Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition
Author/Authors :
Azadi, M Faculty of metallurgical Engineering and materia - Semnan University , Sabour Rouhaghadam, A Faculty of Engineering - Materials Engineering Department Surface Engineering Laboratory - Tarbiat Modares University , Ahangarani, S Advanced Materials and Renewable Energies Department - Iranian Research Organization for Science and Technology Tehran
Abstract :
In this paper, we reviewed researches about the titanium nitride (TiN) and titanium carbide (TiC) single and multilayer coatings. These coatings were deposited by the plasma assisted chemical vapor deposition (PACVD) technique. Plasma-based technologies are used for the processing of thin films and coatings for different applications such as automobile and aerospace parts, computer disc drives, food industry and surgical/medical instruments. We describe the state of the performance of different coating systems and thin film architectures in PACVD suitable for industrial-scale or laboratory applications. Mechanical properties of coatings such as wear resistance, hardness and the scratch resistance, structural characteristics, physical and chemical properties like coatings adhesion into different substrates, wetting behavior and corrosion resistance were studied. Thus, this paper represents a source of information for those who want to familiarize with the status of knowledge in the area of materials science of functional coatings, in particular TiN/TiC coatings that was deposited by a new Plasma-based technologies.
Farsi abstract :
در اين مقاله مروري بر پوشش هاي تك لايه و چندلايه نيتريدتيتانيم و كاربيدتيتانيم انجام شده است. اين پوشش ها از روش ترسيب شيميايي از فاز بخار به كمك پلاسما ايجاد شدهاند. تكنولوژي هاي وابسته به پلاسما براي ساخت لايه ها و پوشش هاي نازك در كاربرد گسترده همانند قطعات خودرو و هواپيما، ابزار ديسك كامپيوتر، صنعت غذايي و ابزار پزشكي/ دارويي استفاده مي شوند. در اينجا به اثر روش ترسيب شيميايي از فاز بخار به كمك پلاسما به وسيله توصيف عملكرد سيستم هاي متفاوت پوشش ها و لايه هاي نازك مناسب براي كاربردهاي آزمايشگاهي تا صنعتي پرداخته مي شود. خواص مكانيكي اين پوشش ها مانند مقاومت در برابر سايش، سختي، چقرمگي، خواص ساختاري ، فيزيكي و شيميايي مانند چسبندگي پوششها به انواع زيرلايه ها، رفتار شوندگي و مقاومت در برابر خوردگي مورد مطالعه قرار گرفته است. بنابراين، اين مقاله منبع اطلاعاتي خوبي براي كساني است كه قصد آشنايي با دانش در اين زمينه از علم و خواص عملكردي مواد، خصوصاً پوشش نيتريدتيتانيم و كاربيدتيتانيم با روش ذكرشده را دارند
Keywords :
Titanium Nitride , Titanium Carbide , Multilayer Coatings , Hard Coatings , PACVD , Plasma Assisted Chemical Vapor Deposition
Journal title :
Astroparticle Physics
