دراسة بعض العيوب السطحية لشرائح السليكون الاحاديةالتبلور

ان البلورات الاحادية لاشباه الموصلات لاتكون مثالية بل تحوي فى بنيتها بعض العيوب السطحية والمتمثلة بالتوامية، التركيب السلالي، الحدود الحبيبية. تضمن البحث اعتماد تقنية الاظهار الكيميائي الفحوصات المجهرية لتحديد العيوب السطحية على ا لشرائح السليكونية و للمستويات (111) ، (110) بعد المعاملات الميكانيكية و استخدام محاليل الاظهار المفضلة .استخدم خلال هذا البحث محلول اوكسيد الكروم الحامضي في اظهارا لتركيب السلالي على شرائح السليكونالاحادية للمستويات (111)، (110) حيث اظهرت الفحوصات المجهرية هيئات هندسية على شكل مصفوفة مثلثات متتالية ، مصفوفة مستطيلات متتالية في اتجاه واحد وعلى التوالي . يظهر التركيب السلالي بسبب تحرك الانخلاعات بشكل تسلقي مودية الى ازاحة الشبيكة البلورية باتجاه متجه بركر .لقد تم اعتماد محلول 4- cp في اظهار التوامية على شرائح السليكون الاحادية للمستويات (111)، (110) حيث اظهرت الفحوصات المجهرية الاختلاف في انعكاسية الضوء للسطح الواحد بسبب الاختلاف في الاتجاهية ولنفس المستوي البلوري، وتصنف تلك الاشكال الى انواع من التوامة السطحية والتوامة التماسية وذلك لتكوين اتجاهين متناظرين في المستوي الواحد. بينما ادى محلول 4- cp المضاف اليه ايونات النحاس الى اظهارا لتركيب المتعدد البلورات على سطوح بلورات السليكون ، حيث تظهر الفحوصات المجهرية انعكاسات ضوئية مختلفة ومتعددة على شرائح البلورة.