Title of article
Finite-length mask effects in the isolation oxidation of silicon
Author/Authors
J. D. EVANS، نويسنده , , A. B. TAYLER، نويسنده , , and J. R. KING ، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 1997
Pages
26
From page
121
To page
146
Journal title
I M A Journal of Applied Mathematics
Serial Year
1997
Journal title
I M A Journal of Applied Mathematics
Record number
289588
Link To Document