Title of article :
Determination of the hydrogen concentration of silicon nitride layers by Fourier transform infrared spectroscopy
Author/Authors :
I. Jonak-Auer، نويسنده , , R. Meisels، نويسنده , , F. Kuchar، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 1997
Keywords :
Chalcogenide films , Fiber optics , Optical constants
Journal title :
Infrared Physics & Technology
Journal title :
Infrared Physics & Technology
