Title of article
Thin film pyroelectric array as a detector for an infrared gas spectrometer
Author/Authors
B. Willing، نويسنده , , Rahul M. Kohli، نويسنده , , P. Muralt، نويسنده , , O. Oehler، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 1998
Pages
7
From page
443
To page
449
Keywords
Gas spectrometer , Silicon micromachining , Pyroelectrics , thin films
Journal title
Infrared Physics & Technology
Serial Year
1998
Journal title
Infrared Physics & Technology
Record number
327584
Link To Document