Title of article
Dual ion beam sputtering vanadium dioxide microbolometers by surface micromachining
Author/Authors
D. Zintu، نويسنده , , G. Tosone، نويسنده , , A. Mercuri، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2002
Pages
6
From page
245
To page
250
Journal title
Infrared Physics & Technology
Serial Year
2002
Journal title
Infrared Physics & Technology
Record number
327777
Link To Document