Title of article :
Dual ion beam sputtering vanadium dioxide microbolometers by surface micromachining
Author/Authors :
D. Zintu، نويسنده , , G. Tosone، نويسنده , , A. Mercuri، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2002
Pages :
6
From page :
245
To page :
250
Journal title :
Infrared Physics & Technology
Serial Year :
2002
Journal title :
Infrared Physics & Technology
Record number :
327777
Link To Document :
https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=10&DC=327777
