Title of article :
Microfocus-infrared synchrotron ellipsometer for mapping of ultra thin films
Author/Authors :
M. Gensch، نويسنده , , E.H. Korte، نويسنده , , N. Esser، نويسنده , , U. Schade، نويسنده , , K. Hinrichs، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2006
Keywords :
Ellipsometry , Anisotropy , synchrotron radiation , Infrared , Silicon , mapping , organic thin films , polymer
Journal title :
Infrared Physics & Technology
Journal title :
Infrared Physics & Technology