مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Nucleation and growth of hemispherical-grained Si by rapid thermal CVD

Title of article :

Nucleation and growth of hemispherical-grained Si by rapid thermal CVD

Author/Authors :

S. Berger، نويسنده , , O. Raslin، نويسنده , , H. Gilboa، نويسنده , , E. Iskevitch، نويسنده , , H. Spielberg and S. Levy، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 1999

Pages :

From page :

1041

To page :

1053

Journal title :

nanostructured materials

Serial Year :

1999

Journal title :

nanostructured materials

Record number :

332682

Link To Document :