مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Crystalline silicon nitride thin films grown by pulsed YAG laser deposition

Title of article :

Crystalline silicon nitride thin films grown by pulsed YAG laser deposition

Author/Authors :

Y. Suda، نويسنده , , K. Ebihara، نويسنده , , K. Baba، نويسنده , , H. Abe and A.M. Grishin، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 1999

Pages :

From page :

391

To page :

394

Journal title :

nanostructured materials

Serial Year :

1999

Journal title :

nanostructured materials

Record number :

332823

Link To Document :