Title of article :
Analysis of the Al content in semiconductor materials by null ellipsometric spectrometry
Author/Authors :
Jie Lian، نويسنده , , Qingpu Wang، نويسنده , , Aijian Wei، نويسنده , , Yurong Wang and Ping Li، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2002
Pages :
4
From page :
493
To page :
496
Keywords :
Ellipsometric spectrum , linear interpolation , The content of aluminum , E:ective medium approximate
Journal title :
OPTICS & LASER TECHNOLOGY
Serial Year :
2002
Journal title :
OPTICS & LASER TECHNOLOGY
Record number :
334855
Link To Document :
بازگشت