Title of article :
Surface roughness investigation of semi-conductor wafers
Author/Authors :
C. J. Tay، نويسنده , , S. H. Wang، نويسنده , , C. Quan، نويسنده , , B. L. Ng and K. C. Chan، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2004
Keywords :
Atomic force microscope (AFM , light scattering , Non-contact measurement , Total integrated scattering (TIS) , Surface roughness
Journal title :
OPTICS & LASER TECHNOLOGY
Journal title :
OPTICS & LASER TECHNOLOGY
