Author/Authors :
Y. Zhao، نويسنده , , D. M. Zhang، نويسنده , , F. Wang، نويسنده , , Z. C. Cui، نويسنده , , M. B. Yi، نويسنده , , C. S. Ma، نويسنده , , W. B. Guo and S. Y. Liu، نويسنده ,
Keywords :
Reactive ion etching , Absorption loss , Near-8eld pattern , Polymer optical waveguide , Sputtering aluminum