Title of article :
Study on actuating voltage and switching time of a MOEMS optical switch
Author/Authors :
Dongming Sun، نويسنده , , Wei Dong، نويسنده , , Wenbin Guo، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 2005
Keywords :
Electrostatic actuated , Torsion beam , MOEMS , Slant lower electrode , Actuating voltage , Switching time
Journal title :
OPTICS & LASER TECHNOLOGY
Journal title :
OPTICS & LASER TECHNOLOGY