مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - A 2-MHz 6-kVA voltage-source inverter using low-profile MOSFET modules for low-temperature plasma generators

Title of article :

A 2-MHz 6-kVA voltage-source inverter using low-profile MOSFET modules for low-temperature plasma generators

Author/Authors :

Fujita، نويسنده , , H، نويسنده , , Akagi، نويسنده , , H، نويسنده , , Shinohara، نويسنده , , S.، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 1999

Pages :

From page :

1014

To page :

1020

Keywords :

power MOSFET , lowtemperatureplasma , stray inductance. , high-frequency inverter , Device packaging

Journal title :

IEEE TRANSACTIONS ON POWER ELECTRONICS

Serial Year :

1999

Journal title :

IEEE TRANSACTIONS ON POWER ELECTRONICS

Record number :

340050

Link To Document :