مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Study of in-situ surface cleaning for Si and SiGe epitaxy on Si with a novel ion beam vapor/assisted deposition technique

Title of article :

Study of in-situ surface cleaning for Si and SiGe epitaxy on Si with a novel ion beam vapor/assisted deposition technique

Author/Authors :

S. Mohajerzadeh، نويسنده , , C. R. Selvakumar، نويسنده , , D. E. Brodie، نويسنده , , M. D. Robertson، نويسنده , , J. M. Corbett، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 1995

Pages :

From page :

347

To page :

356

Journal title :

Progress in Surface Science

Serial Year :

1995

Journal title :

Progress in Surface Science

Record number :

342650

Link To Document :