Thermal Properties Measurement of Micro-electromechanical System Sensors by Digital Moiré Method

H. Shang، نويسنده , , Y. H. Xie، نويسنده , , X. Wang، نويسنده , , S. Jiang and M. Paul، نويسنده , , F. Dai W. Wang، نويسنده , , Y. Fang and Y. Zhao، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2005

6

157

162

strain , digital moire´ , double-layer micro-cantilever , Grating , linear expansion coefficient

Strain

2005

Strain

343014