مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - A NEW APPROACH FOR DETECTING DEFECTS IN BONDED MEMS DEVICES

Title of article :

A NEW APPROACH FOR DETECTING DEFECTS IN BONDED MEMS DEVICES

Author/Authors :

G. Horn، نويسنده , , T. Mackin، نويسنده , , J. Lesniak، نويسنده , , Brad Boyce، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 2004

Pages :

From page :

To page :

Journal title :

Experimental Techniques

Serial Year :

2004

Journal title :

Experimental Techniques

Record number :

347745

Link To Document :