مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري

Title of article :

Dual-column (FIB–SEM) wafer applications

Author/Authors :

Robert Krueger، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 1999

Pages :

From page :

221

To page :

226

Keywords :

scanning electron microscope , Focused ion beam , Defect characterization , Metal deposition , TEM sample preparation , Dual-column

Journal title :

Micron

Serial Year :

1999

Journal title :

Micron

Record number :

356783

Link To Document :