Title of article :
Microfabrication techniques using focused ion beams and emergent applications
Author/Authors :
M. J. Vasile، نويسنده , , R. Nassar، نويسنده , , J. Xie ، نويسنده , , K. H. Guo، نويسنده ,
Issue Information :
روزنامه با شماره پیاپی سال 1999
Keywords :
Micromanipulators , Microtools , Micromachining , Microsurgical tools , Focused ion beams , Sputter simulations , Sputter yields , Microfabrication
