Title of article
TEM/CBED determination of strain in silicon-based submicrometric electronic devices
Author/Authors
A. Armigliato، نويسنده , , R. Balboni، نويسنده , , S. Balboni، نويسنده , , S. Frabboni، نويسنده , , A. Tixier، نويسنده , , G. P. Carnevale، نويسنده , , P. Colpani، نويسنده , , G. Pavia ، نويسنده , , A. Marmiroli، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2000
Pages
7
From page
203
To page
209
Keywords
convergent beam electron diffraction (CBED) , Process simulation codes , Local isolation structures(LOCOS) , Submicron devices , cross sections , Strain tensor , Transmission electron microscopy (TEM)
Journal title
Micron
Serial Year
2000
Journal title
Micron
Record number
356834
Link To Document