مرکز منطقه ای اطلاع رساني علوم و فناوري - Room temperature oxidation of Cu3Ge films grown on Si and Si1−xGex substrates

Title of article :

Room temperature oxidation of Cu3Ge films grown on Si and Si1−xGex substrates

Author/Authors :

Hsuan-Han Liang، نويسنده , , Jian-Shing Luo ، نويسنده , , Wen-Tai Lin، نويسنده ,

Issue Information :

روزنامه با شماره پیاپی سال 2002

Pages :

From page :

561

To page :

564

Keywords :

Cu3Si-catalyzed oxidation , Cu3Ge films , Cu3(Si1?xGex) films

Journal title :

Micron

Serial Year :

2002

Journal title :

Micron

Record number :

357035

Link To Document :