Width determination of SiO2-films in Si-based devices using low-loss EFTEM: image contrast as a function of sample thickness

Bernhard Schaffer and Michael Toth ، نويسنده , , Werner Grogger، نويسنده , , Ferdin، نويسنده , , Hofer، نويسنده ,

روزنامه با شماره پیاپی سال 2003

7

1

7

Silicon dioxide , Electron energy-loss spectroscopy , Energy filtering transmission electron microscopy , Silicon , thin films , Material contrast

Micron

2003

Micron

357051