• Title of article

    Comparison of Si and Ge low-loss spectra to interpret the Ge contrast in EFTEM images of Si1−x Gex nanostructures

  • Author/Authors

    R. Pantel، نويسنده , , M.C. Cheynet ، نويسنده , , F.D. Tichelaar، نويسنده ,

  • Issue Information
    روزنامه با شماره پیاپی سال 2006
  • Pages
    9
  • From page
    657
  • To page
    665
  • Keywords
    Energy filtered TEM , Energy loss spectroscopy , Si–Ge , Microelectronics
  • Journal title
    Micron
  • Serial Year
    2006
  • Journal title
    Micron
  • Record number

    357370