Title of article
Fracture toughness measurement of thin-film silicon
Author/Authors
T.، نويسنده , , O، نويسنده , , X. LI، نويسنده , , S. NAKAO، نويسنده , , T. KASAI، نويسنده , , H. TANAKA، نويسنده , , M. SHIKIDA، نويسنده , , K. SATO، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2005
Pages
8
From page
687
To page
694
Keywords
fracture toughness , MEMS , Silicon , single crystal , thin film.
Journal title
Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures
Serial Year
2005
Journal title
Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures
Record number
359870
Link To Document