Title of article
Micromechanical testing of SU-8 cantilevers
Author/Authors
M. HOPCROFT، نويسنده , , T. KRAMER، نويسنده , , G. KIM، نويسنده , , K. TAKASHIMA، نويسنده , , Y. Higo، نويسنده , , D. MOORE، نويسنده , , J. Brugger، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2005
Pages
8
From page
735
To page
742
Keywords
SU-8 , surface profliometer , AFM cantilevers , Young’s modulus. , microscale mechanical test
Journal title
Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures
Serial Year
2005
Journal title
Fatigue and Fracture of Engineering Materials and Structures
Record number
359875
Link To Document